Томские ученые упростили изготовление нанопленок из металлов
Ученые Томского политехнического университета улучшили технологию создания наноразмерных пленок из металлов. Разработка позволит быстрее и с большей точностью получать изделия для электроники, оптики, ядерной и космической сферы.
Специалисты создали новый подход к магнетронному распылению – способу получения тонкопленочных изделий толщиной от 10 нанометров до единиц микронов из металлов и их соединений. Метод политехников позволяет увеличить качество покрытий и упростить обработку изделий для современной оптики, электроники, медицины, космической и ядерной отрасли. Скорость получения по новой технологии превосходит аналоги в пять раз.
«Мы решили проблему формирования нежелательной кислородной пленки на поверхности металлический мишени путем добавления этапа обработки изделия высокочастотной индуктивно-связанной плазмой. Мы показали возможность высокоскоростного получения пленок оксида меди с требуемым элементным составом», — рассказал агентству «РИА Новости» доцент Инженерной школы ядерных технологий ТПУ Дмитрий Сиделев.
Результаты исследования ученые представят на VIII Международном конгрессе «Потоки энергии и радиационные эффекты». Мероприятие пройдет в Томске с 2 по 8 октября. Участие в конгрессе примут 500 исследователей из 17 стран.
Фото: пресс-служба ТПУ / news.tpu.ru
